椭偏仪 (VB-400)

型号

美国J.A.Woollam公司

VB-400

主要规格

及技术指标

主要性能参数：  光谱范围：250 ~ 1700 nm。 入射角：15 ~ 90°。  数据采样速率：典型——0.1 ~ 3 s/nm；高精度模式——20 s/nm。

材料要求

主要功能

及应用范围

主要性能参数：光谱范围：250 ~ 1700 nm。 入射角：15 ~ 90°。  数据采样速率：典型——0.1 ~ 3 s/nm；高精度模式——20 s/nm。   用途：基本应用：单、多薄膜折射率及膜厚测量，块材的折射率测量；相位延迟测量。 扩展应用：表面粗糙，组分比、折射率梯度分布、膜面均匀性、光学各项异性测量。  

应用领域：半导体、光伏产业、平板显示、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、透明导电膜、聚合物膜、自组装膜、光刻材料等。

测试项目

膜厚、折射率250 元/样   反射率、透射率 250 元/样

相位延迟 250 元/样

（每个样品取一个点；取多点按照多个样品进行计算；多层膜测试请事先与老师联系）